SJT 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法
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ID： |
36C0AD85B99949F686B0E33BBE876368 |
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文件大小(MB)： |
0.23 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31095-94,劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于KIKO型劈刀研磨装置,结构类似的其它型号的劈刀研磨装置,亦可参照,执行,2完好要求,2-1主要技术指标,2.1.1主要性能指标完好要求和检测方法、检测器具,见表1,表1,序号检测项目完好要求检测方法和检测器具,1,研磨小孔范围:62曲m~,夕 100pim,加工误差:,加工零件在高倍显微镜下进行检测按实测,误差计,2,电机转速分别为:300r/,min, 100017min,误差:土 5%,用转速表进行检测,按实测计算是否在允差,范围内6,3 定时关机时间0-180. S 设备现场测试,4 研磨头架上、下升降转速60r/min, 108r/min 用转速表检测,2-1-2主要几何精度完好要求和检测方法,见表2,表2,序号检测项目完好要求检测方法,研磨头架升降,对工作台的垂,直度,&2伐m,在工作台上放一方箱或角,尺,并校正方箱或角尺与升降,导轨的平行度,将指示器固定,在研磨头架主轴端部,使其测,头触及方箱或角尺检测面,升,降头架至最大行程,指示器在升降过程中读数,的最大差值为垂直度误差,图 示,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,sj/T 31095-94,续表2,序号检测项目完好要求检测方法,G2,研磨具回转装,夹重合度,0. 03mm,将指示器固定在工作台面,上,使其测头触及装夹位置,旋转研磨头轴进行测量,误差以指示器读数差值之,.半计,2.2操作系统,2. 2-1各操作开关启动灵活、定位可靠、标志齐全,2.3传动系统,2. 3-1设备运转平稳、无冲击、无振动,2.3 -2变速机构齐全,灵活可靠,2.4 电气系统,2.4.1 电气性能良好,运行可靠、保护装置齐全、有效,2.4- 2电源指示灯完整、齐全、电气箱内线路完好,绝缘可靠。安全接地可靠,2-5安全防护,2- 5-1各防护罩齐全,完整、可靠、安全,2-6维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3-1检查方法,3.1- 1主要技术指标完好要求见表列进行检测,其它项目均为主观检査,3-2评定方法,3. 2-1主要项目有2.1.1项,2.1.2项,其余均为次要项目,3-2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2- 3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:赵杏春、朱文晓、吴正伟、顾军建,2……
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